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　　由傳感器專(zhuān)家網(wǎng)創(chuàng)建的微信社群——【傳感器智匯圈】，匯聚了大批傳感器業(yè)內(nèi)人士，并每天就各種傳感器話(huà)題進(jìn)行熱烈討論，迸射出閃耀的知識(shí)火花。于是，我們把社群里極具價(jià)值的精彩對(duì)話(huà)整理成文，推出了專(zhuān)題欄目“社群智匯”。
　　本次話(huà)題是“陶瓷壓力傳感器”。壓力傳感器技術(shù)，比拼的不是多么先進(jìn)的電路設(shè)計(jì)，更多的是工藝手段的深究打磨求索。
　　 傳感器專(zhuān)家網(wǎng)-楊軍：
　　過(guò)去的一周多我們的話(huà)題都沒(méi)有離開(kāi)慣性導(dǎo)航，也該換個(gè)話(huà)題了。
　　聊國(guó)內(nèi)的傳感器市場(chǎng)，繞不開(kāi)的話(huà)題一定是壓力變送器，而作為壓力變送器的核心，即壓力傳感器芯體則是該話(huà)題的重中之重，上周有群友提出，希望聊一聊“壓阻式陶瓷壓力傳感器”的話(huà)題，那我們今天就這個(gè)陶瓷壓力傳感器的話(huà)題再展開(kāi)，希望大家一起來(lái)探討陶瓷壓力傳感器的那點(diǎn)事兒，包括國(guó)內(nèi)水平，市場(chǎng)狀況，發(fā)展趨勢(shì)，該細(xì)分產(chǎn)品領(lǐng)域的市場(chǎng)發(fā)展機(jī)會(huì)等等。
　　目前【傳感器智匯圈】社群已經(jīng)快速成長(zhǎng)至近4000人，群里從事壓力傳感器的朋友行家很多，我負(fù)責(zé)拋磚引玉，歡迎各位發(fā)表自己的高見(jiàn)。
傳感器專(zhuān)家網(wǎng)-楊軍：
　　陶瓷壓力傳感器，顧名思義，是利用溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性都更好、且能夠抗腐蝕的陶瓷作為材料來(lái)制作的壓力傳感器，可以實(shí)現(xiàn)更寬的工作溫度范圍（如-40～135℃),同時(shí)，保障更好的精度和電氣絕緣性。
　　陶瓷壓力傳感器不用液體（如硅油）介質(zhì)來(lái)傳遞壓力，利用壓力膜片直接感受壓力，沒(méi)有密封泄露的問(wèn)題，厚膜電阻構(gòu)成的惠斯通電橋印刷在陶瓷膜片的背面，利用陶瓷膜片良好的彈性，壓力直接作用在高純度的陶瓷膜片前表面，產(chǎn)生微形變，印刷在背面的惠斯通電橋壓敏電阻產(chǎn)生壓敏效應(yīng)，輸出與壓力成正比的線性電壓信號(hào)，從而感知壓力變化。
　　timg(2).jpg
　　 張***:
　　陶瓷壓力傳感器的敏感元件部分也是陶瓷材料么？還是只是用陶瓷做封裝？
　　 后***面：
　　和擴(kuò)散硅一樣的道理，單晶硅和陶瓷分別做電路載體，所不同的是材料和工藝不一樣。
　　 傳感器專(zhuān)家網(wǎng)-楊軍：
　　說(shuō)得對(duì)。
　　抓住要點(diǎn)了，壓力傳感器的性能與電路載體的性能密切相關(guān)。
　　 張***:
　　學(xué)習(xí)了，謝謝。
　　 傳感器專(zhuān)家網(wǎng)-楊軍：
　　壓力傳感器技術(shù)，并不是多么先進(jìn)的電路設(shè)計(jì)的比拼，更多的是工藝手段的深究打磨求索，是工匠精神的更佳體現(xiàn)，包括各種材料性能的深入理解和應(yīng)用，每一個(gè)工藝細(xì)節(jié)的突破，都可能成就一家偉大的公司。比如，僅僅將陶瓷膜片與襯底粘合的玻璃微熔技術(shù)，就成就了TE的前身精量電子這家傳感器公司。
　　 周***定：
　　金屬濺射薄膜壓力傳感器也是原理很簡(jiǎn)單，但要做好真不容易！
　　 楊***:
　　擴(kuò)散硅、單晶硅、陶瓷哪個(gè)精度高？
　　 傳感器專(zhuān)家網(wǎng)-楊軍：
　　精度跟載體材料沒(méi)有直接關(guān)系。
　　 莫***:
　　其實(shí)陶瓷壓力傳感器對(duì)工藝設(shè)備要求挺高的，從高精度厚膜絲印機(jī)、激光調(diào)阻機(jī)國(guó)內(nèi)都沒(méi)成熟的。
　　陶瓷壓力傳感器成敗在于工藝細(xì)節(jié)。
　　 王***c:
　　材料成型也很講究。
　　 莫***:
　　激光調(diào)阻設(shè)備進(jìn)口的在200萬(wàn)左右一臺(tái)，絲印機(jī)如DEK的也要幾十萬(wàn)以上。
　　 莫***:
　　而且如果不能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化還會(huì)出現(xiàn)不良率不穩(wěn)的情況。
　　 傳感器專(zhuān)家網(wǎng)-楊軍：
　　陶瓷壓力傳感器具有便于批量化生產(chǎn)的特性，其主要特點(diǎn)是敏感堅(jiān)固的陶瓷感應(yīng)膜片、背面印刷的惠斯通電橋壓敏電阻便于進(jìn)行零點(diǎn)誤差、滿(mǎn)量程誤差等指標(biāo)參數(shù)的激光修正標(biāo)定，對(duì)工藝設(shè)備沒(méi)有太高要求，抗腐蝕、抗磨損，抗沖擊抗震動(dòng)，擁有很寬的工作溫度范圍，精度及穩(wěn)定性能卓越，便于小尺寸封裝。鑒于這些優(yōu)點(diǎn)和高性?xún)r(jià)比，許多用戶(hù)開(kāi)始用陶瓷壓力傳感器來(lái)替代傳統(tǒng)的擴(kuò)散硅壓力傳感器。
　　在對(duì)高溫、腐蝕、穩(wěn)定性和可靠性要求較高的工業(yè)過(guò)程控制，石油化工、液壓閥門(mén)、醫(yī)療器械、液壓與氣動(dòng)、傳動(dòng)控制等眾多領(lǐng)域，陶瓷壓力傳感器有著廣泛的應(yīng)用發(fā)展空間。
　　 O***魏：
　　陶瓷是一種很好的材料，在很多高端器件里邊都有用到。
　　 葉***琛：
　　傳統(tǒng)的擴(kuò)散硅壓力傳感器，這個(gè)是怎樣的？
　　 傳感器專(zhuān)家網(wǎng)-楊軍：
　　擴(kuò)散規(guī)壓力傳感器的基體是單晶硅，采用離子注入的工藝，做成惠斯通電橋硅敏感單元，做成壓力變送器時(shí)，被測(cè)壓力通過(guò)不銹鋼隔離膜作用于敏感元件，其后的信號(hào)處理與陶瓷壓力傳感器是類(lèi)似的。優(yōu)點(diǎn)是輸出靈敏度高、過(guò)載能力較強(qiáng)，缺點(diǎn)是溫度特性較差，性能要求高時(shí)需要做溫度補(bǔ)償，而且封裝工藝相對(duì)比較復(fù)雜。
　　在對(duì)高溫、腐蝕、穩(wěn)定性和可靠性要求較高的工業(yè)過(guò)程控制，石油化工、液壓閥門(mén)、醫(yī)療器械、液壓與氣動(dòng)、傳動(dòng)控制等眾多領(lǐng)域，陶瓷壓力傳感器有著越來(lái)越廣泛的應(yīng)用發(fā)展空間。
　　timg(3).jpg
　　 o***n:
　　楊總好！請(qǐng)教一下，關(guān)于冷媒壓力傳感器，你認(rèn)為哪一種比較符合這個(gè)應(yīng)用。
　　 傳感器專(zhuān)家網(wǎng)-楊軍：
　　 o***n陶瓷壓力傳感器，本質(zhì)是惠斯通電橋壓電效應(yīng)，理論上正壓負(fù)壓都可以測(cè)量。但是陶瓷壓力傳感器是以陶瓷膜片作為微形變載體，對(duì)小量程壓力的測(cè)量難度較大，一般多用于100kPa以上的壓力量程，而負(fù)壓多數(shù)是小量程，所以很少看到用陶瓷壓力傳感器來(lái)測(cè)負(fù)壓的。
　　 小***:
　　問(wèn)一下專(zhuān)家，陶瓷壓力傳感器的精度是多少，耐溫及壓力沖擊更高多少，我是流量計(jì)上用的。
　　 S***葉：
　　比如，安費(fèi)諾NPC-1210系列，精度±0.5%FSO,工作溫度-40~125℃。
　　 木***:
　　謝謝楊總的知識(shí)分享。

　　我是做補(bǔ)充一點(diǎn)：陶瓷壓感目前只能做小量程的壓力傳送，大量程的還做不到。

keyword：陶瓷,壓力傳感器

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